제 25회 반도체 대전 SEDEX
October 25 ~ 27 / COEX SEOUL
Heidelberg Instruments Korea
Booth No.C020레이저 리소그래피 시스템
Laser Lithography System
하이델베르크 인스트루먼트는 고정밀 패터닝을 필요로 하는 나노 및 마이크로 분야를 선도하는 글로벌 기업으로서 정교하게 제작된 Laser 및 Thermal Probe lithography system을 활용하여 NEMS, MEMS, Micro-optics, Advanced Packaging (3DIC) IC, Flat Panel Displays (FPD), Micro-fluidics, Sensor, Photonics, 2D & 3D patterning 등의 어플리케이션에 솔루션 제공이 가능한 회사입니다.
Heidelberg Instruments is one of a leading company in the development and production of high-precision nano and micro fabrication tools. Laser & Thermal Probe Lithography Systems are used for efficient direct imaging field such as semiconductor, NEMS, MEMS, Micro-optics, Photonics and 2D & 3D structures.